一种化学气相沉积炉气体预热装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810430757.2

申请日：

2018-05-07

公开(公告)号：

CN108588678A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

卢杰陈涛韩文静任飒

申请人：

申请人地址：

710075 陕西省西安市高新区科技七路5号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1644 C23C1626

代理机构：

中国航空专利中心 11008

代理人：

王中兴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	授权	授权
2018-09-28	公开	公开
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180507

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

卢杰 ;

陈涛 ;

韩文静 ;

任飒 .

中国专利 :CN208218961U ,2018-12-11

[2]

化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

路建顺 .

中国专利 :CN202530159U ,2012-11-14

[3]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

关刚刚 ;

李少华 ;

赵亚国 .

中国专利 :CN216514115U ,2022-05-13

[4]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

顾泉 .

中国专利 :CN210394513U ,2020-04-24

[5]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770947U ,2021-03-23

[6]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

陈亮 ;

沈益顺 ;

刘迪文 ;

刘婵 ;

熊杰 .

中国专利 :CN220746076U ,2024-04-09

[7]

一种化学气相沉积炉预热装置 [P].

王小宪 ;

张小伟 ;

卢刚认 ;

刘海平 ;

张正参 .

中国专利 :CN102363878B ,2012-02-29

[8]

一种化学气相沉积炉预热装置 [P].

施伟伟 ;

卢钢认 ;

刘海平 .

中国专利 :CN104357806A ,2015-02-18

[9]

化学气相沉积炉用预热装置 [P].

卢钢认 ;

王强 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN102330070A ,2012-01-25

[10]

一种化学气相沉积炉 [P].

赵帅 ;

杨学峰 ;

吕伟 ;

毛江宇 ;

朱浩仁 .

中国专利 :CN222861623U ,2025-05-13

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