一种化学气相沉积炉气体预热装置

被引：0

申请号：

CN202122701299.1

申请日：

2021-11-06

公开(公告)号：

CN216514115U

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

关刚刚李少华赵亚国

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区西三环和科技路十字西北角绿地国际花都8幢1单元10层11007号

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

C23C1652

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770947U ,2021-03-23

[2]

化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

路建顺 .

中国专利 :CN202530159U ,2012-11-14

[3]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

顾泉 .

中国专利 :CN210394513U ,2020-04-24

[4]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

陈亮 ;

沈益顺 ;

刘迪文 ;

刘婵 ;

熊杰 .

中国专利 :CN220746076U ,2024-04-09

[5]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

卢杰 ;

陈涛 ;

韩文静 ;

任飒 .

中国专利 :CN208218961U ,2018-12-11

[6]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

卢杰 ;

陈涛 ;

韩文静 ;

任飒 .

中国专利 :CN108588678A ,2018-09-28

[7]

化学气相沉积炉用预热装置 [P].

卢钢认 ;

王强 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN102330070A ,2012-01-25

[8]

一种化学气相沉积炉预热装置 [P].

王小宪 ;

张小伟 ;

卢刚认 ;

刘海平 ;

张正参 .

中国专利 :CN102363878B ,2012-02-29

[9]

一种化学气相沉积炉预热装置 [P].

施伟伟 ;

卢钢认 ;

刘海平 .

中国专利 :CN104357806A ,2015-02-18

[10]

一种化学气相沉积炉 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN218372510U ,2023-01-24

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