化学气相沉积炉用预热装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110321544.4

申请日：

2011-10-20

公开(公告)号：

CN102330070A

公开(公告)日：

2012-01-25

发明(设计)人：

卢钢认王强崔鹏

申请人：

申请人地址：

710075 陕西省西安市高新区科技七路5号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1626

代理机构：

西北工业大学专利中心 61204

代理人：

慕安荣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101203920391 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2011103215444 申请日:20111020
2013-10-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101665270107 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2011103215444 申请公布日:20120125
2012-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

路建顺 .

中国专利 :CN202530159U ,2012-11-14

[2]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

关刚刚 ;

李少华 ;

赵亚国 .

中国专利 :CN216514115U ,2022-05-13

[3]

一种化学气相沉积炉气体预热装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770947U ,2021-03-23

[4]

一种化学气相沉积炉预热装置 [P].

王小宪 ;

张小伟 ;

卢刚认 ;

刘海平 ;

张正参 .

中国专利 :CN102363878B ,2012-02-29

[5]

一种化学气相沉积炉预热装置 [P].

施伟伟 ;

卢钢认 ;

刘海平 .

中国专利 :CN104357806A ,2015-02-18

[6]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[7]

化学气相沉积炉 [P].

季历程 .

中国专利 :CN102839361A ,2012-12-26

[8]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN107604340A ,2018-01-19

[9]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

[10]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01

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