一种单晶硅片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410516591.8

申请日：

2014-09-30

公开(公告)号：

CN105521958A

公开(公告)日：

2016-04-27

发明(设计)人：

杜国平

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市西工区洛阳工业区汉宫路

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B312 B08B308

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B08B 3/02 申请公布日:20160427
2016-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

准单晶硅片清洗方法 [P].

石开明 ;

孙志刚 ;

刘茂华 ;

韩子强 ;

石坚 ;

吴继贤 ;

章建海 .

中国专利 :CN102806216A ,2012-12-05

[2]

一种单晶硅片清洗机及清洗单晶硅片的方法 [P].

缪云 .

中国专利 :CN114792641A ,2022-07-26

[3]

一种单晶硅片清洗方法 [P].

魏泽武 ;

王艺澄 ;

王友 .

中国专利 :CN111613519A ,2020-09-01

[4]

单晶硅片的清洗工艺 [P].

孙亮湖 .

中国专利 :CN102327882A ,2012-01-25

[5]

一种单晶硅片的清洗设备 [P].

朱仁德 ;

章祥静 .

中国专利 :CN114378045A ,2022-04-22

[6]

一种单晶硅片的清洗方法 [P].

张春明 ;

张建伟 ;

王焕俊 .

中国专利 :CN101590476A ,2009-12-02

[7]

一种用于单晶硅片清洗的清洗装置 [P].

张世杰 .

中国专利 :CN214263010U ,2021-09-24

[8]

一种单晶硅片的生产方法及单晶硅片 [P].

徐志群 ;

孙彬 ;

付明全 ;

杨振忠 ;

马伟萍 .

中国专利 :CN114311355A ,2022-04-12

[9]

单晶硅片的清洗装置 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN208495075U ,2019-02-15

[10]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

← 1 2 3 4 5 →