一种集成电路用单晶硅棒切割装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110233615.9

申请日：

2021-03-02

公开(公告)号：

CN113085038A

公开(公告)日：

2021-07-09

发明(设计)人：

郑冬梅

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市蜀山区黄山路443号中国科学技术大学西校区

IPC主分类号：

B28D504

IPC分类号：

B28D704 B28D700

代理机构：

苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344

代理人：

王云峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B28D 5/04 申请日:20210302
2023-01-24	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B28D 5/04 申请公布日:20210709
2021-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种单晶硅棒切割装置 [P].

王志伟 .

中国专利 :CN213533293U ,2021-06-25

[2]

单晶硅棒切割装置 [P].

周春梅 ;

方友辉 .

中国专利 :CN215619214U ,2022-01-25

[3]

用于单晶硅棒的切割装置 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

陈辉 ;

耿荣军 ;

徐文州 .

中国专利 :CN204249124U ,2015-04-08

[4]

一种单晶硅棒切割装置 [P].

朱旭东 ;

史浩洪 ;

马斌 ;

陶建涛 .

中国专利 :CN223013595U ,2025-06-24

[5]

一种单晶硅棒用夹持装置 [P].

王志伟 .

中国专利 :CN214213487U ,2021-09-17

[6]

单晶硅棒用切割设备 [P].

吴宝佳 ;

江志荣 .

中国专利 :CN215619206U ,2022-01-25

[7]

用于单晶硅棒的切割装置 [P].

沈传进 ;

陈兆民 ;

饶海峰 ;

孙小龙 ;

许天红 ;

张峰 .

中国专利 :CN112318753A ,2021-02-05

[8]

双向式单晶硅棒切割装置 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN209273723U ,2019-08-20

[9]

一种单晶硅棒切割装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN108890902B ,2024-07-23

[10]

一种单晶硅棒切割装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206748782U ,2017-12-15

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