一种晶圆切割、减薄用保护膜

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620350009.X
申请日
2016-04-25
公开(公告)号
CN205705626U
公开(公告)日
2016-11-23
发明(设计)人
喻四海 施法宽 杨洋
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市高新区中华园西路1798号
IPC主分类号
B32B2732
IPC分类号
B32B2706 B32B710 B32B3300
代理机构
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人
薛海霞;董建林
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种抗静电晶圆减薄、切割用保护膜 [P]. 
杨洋 .
中国专利 :CN209259996U ,2019-08-16
[2]
一种晶圆切割用保护膜 [P]. 
柯跃虎 ;
诸葛锋 ;
宋亦健 ;
曾庆明 .
中国专利 :CN212269967U ,2021-01-01
[3]
晶圆切割用保护膜 [P]. 
陈来来 ;
葛敬银 ;
余冲冲 ;
叶智 ;
叶勇 .
中国专利 :CN205086431U ,2016-03-16
[4]
晶圆减薄保护膜及其制造方法 [P]. 
王竣腾 ;
王国贤 .
中国专利 :CN115044318A ,2022-09-13
[5]
一种晶圆保护膜切割装置 [P]. 
叶家焱 ;
王孝军 ;
范亚飞 ;
牛作艳 .
中国专利 :CN218229559U ,2023-01-06
[6]
一种晶圆切割保护膜 [P]. 
张长宇 ;
陈鹏 .
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[7]
晶圆切割PVC保护膜 [P]. 
瞿清 ;
唐浩成 ;
张良 .
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[8]
一种用于晶圆切割的保护膜 [P]. 
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[9]
一种晶圆正面保护膜切割装置 [P]. 
朱万杰 .
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[10]
一种晶圆切割保护膜用收卷装置 [P]. 
郑斌祥 ;
郑浪辉 .
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