晶圆减薄保护膜及其制造方法

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申请号
CN202110423181.9
申请日
2021-04-20
公开(公告)号
CN115044318A
公开(公告)日
2022-09-13
发明(设计)人
王竣腾 王国贤
申请人
申请人地址
中国台湾台中市
IPC主分类号
C09J729
IPC分类号
C09J738
代理机构
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100
代理人
倪中翔
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆切割、减薄用保护膜 [P]. 
喻四海 ;
施法宽 ;
杨洋 .
中国专利 :CN205705626U ,2016-11-23
[2]
半导体晶圆保护膜的制造方法 [P]. 
邓三军 .
中国专利 :CN120363518A ,2025-07-25
[3]
用于晶圆减薄的保护膜及其制备方法与后处理方法 [P]. 
占鹏华 ;
张汪根 ;
宁旭 ;
许明伟 ;
樊晓兵 .
中国专利 :CN120310448A ,2025-07-15
[4]
晶圆保护膜用组成物及晶圆保护膜 [P]. 
刘晏全 ;
林岳霆 ;
王品胜 ;
郑亦傑 ;
林育琪 ;
刘育铨 ;
陈灯桂 .
中国专利 :CN120098573A ,2025-06-06
[5]
光固化型晶圆研磨保护胶带及其制备方法、晶圆减薄方法 [P]. 
伍得 ;
王志贤 ;
廖述杭 ;
苏峻兴 .
中国专利 :CN119019947A ,2024-11-26
[6]
一种抗静电晶圆减薄、切割用保护膜 [P]. 
杨洋 .
中国专利 :CN209259996U ,2019-08-16
[7]
晶圆减薄方法 [P]. 
叶博康 ;
陈静静 ;
徐锡庭 .
中国专利 :CN120480671A ,2025-08-15
[8]
一种晶圆切割保护膜 [P]. 
张长宇 ;
陈鹏 .
中国专利 :CN118931404A ,2024-11-12
[9]
保护膜、用于晶圆划片膜的基材薄膜及其制造方法 [P]. 
陈田安 ;
崔庆珑 .
中国专利 :CN104788775B ,2018-04-27
[10]
一种复合晶圆保护膜及其制备方法 [P]. 
李政 ;
张强 .
中国专利 :CN114774020A ,2022-07-22