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衬底片清洗槽底座
被引:0
申请号
:
CN202222726956.2
申请日
:
2022-10-17
公开(公告)号
:
CN218486699U
公开(公告)日
:
2023-02-17
发明(设计)人
:
许仙薇
林育圣
庄裕峯
郭正富
蔡国基
申请人
:
申请人地址
:
266000 山东省青岛市城阳区嘉展智谷A栋
IPC主分类号
:
B08B302
IPC分类号
:
B08B1300
代理机构
:
青岛发思特专利商标代理有限公司 37212
代理人
:
张洒洒
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2023-02-17
授权
授权
共 50 条
[1]
衬底片毛刷清洗装置
[P].
许仙薇
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许仙薇
;
庄裕峯
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庄裕峯
;
林育圣
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林育圣
;
郭正富
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郭正富
;
蔡国基
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蔡国基
.
中国专利
:CN218486659U
,2023-02-17
[2]
一种衬底片清洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
王滔
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王滔
;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
;
马金峰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222980456U
,2025-06-13
[3]
一种衬底片清洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
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王滔
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广东先导微电子科技有限公司
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王滔
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周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
周铁军
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马金峰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN223181080U
,2025-08-01
[4]
一种衬底片清洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
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郑金龙
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王滔
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广东先导微电子科技有限公司
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周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
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马金峰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222826368U
,2025-05-02
[5]
一种衬底片清洗装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
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王滔
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王滔
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周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
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马金峰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN223230309U
,2025-08-15
[6]
衬底片
[P].
H.利夫卡
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H.利夫卡
;
R.H.M.桑德斯
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R.H.M.桑德斯
;
D.马修
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D.马修
.
中国专利
:CN103098255B
,2013-05-08
[7]
一种衬底片清洗干燥装置
[P].
郑金龙
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
郑金龙
;
王滔
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广东先导微电子科技有限公司
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王滔
;
周铁军
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广东先导微电子科技有限公司
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周铁军
;
马金峰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
马金峰
.
中国专利
:CN222999231U
,2025-06-20
[8]
碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片
[P].
崔思远
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崔思远
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赵元亚
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赵元亚
;
文国昇
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文国昇
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金从龙
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金从龙
.
中国专利
:CN115458403A
,2022-12-09
[9]
碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片
[P].
崔思远
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江西兆驰半导体有限公司
江西兆驰半导体有限公司
崔思远
;
赵元亚
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江西兆驰半导体有限公司
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赵元亚
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文国昇
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江西兆驰半导体有限公司
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文国昇
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金从龙
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机构:
江西兆驰半导体有限公司
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金从龙
.
中国专利
:CN115458403B
,2025-09-05
[10]
衬底片加工方法
[P].
王波
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安徽光智科技有限公司
安徽光智科技有限公司
王波
;
袁健飞
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安徽光智科技有限公司
安徽光智科技有限公司
袁健飞
;
凌龙
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安徽光智科技有限公司
安徽光智科技有限公司
凌龙
;
王从学
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机构:
安徽光智科技有限公司
安徽光智科技有限公司
王从学
.
中国专利
:CN119008377A
,2024-11-22
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