一种衬底片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421456855.0

申请日：

2024-06-25

公开(公告)号：

CN222826368U

公开(公告)日：

2025-05-02

发明(设计)人：

郑金龙王滔周铁军马金峰

申请人：

广东先导微电子科技有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/10

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

王媛媛

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种衬底片清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN223181080U ,2025-08-01

[2]

一种衬底片清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN223230309U ,2025-08-15

[3]

衬底片毛刷清洗装置 [P].

许仙薇 ;

庄裕峯 ;

林育圣 ;

郭正富 ;

蔡国基 .

中国专利 :CN218486659U ,2023-02-17

[4]

一种衬底片清洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222980456U ,2025-06-13

[5]

衬底片清洗槽底座 [P].

许仙薇 ;

林育圣 ;

庄裕峯 ;

郭正富 ;

蔡国基 .

中国专利 :CN218486699U ,2023-02-17

[6]

一种衬底片清洗干燥装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222999231U ,2025-06-20

[7]

一种衬底片切割装置 [P].

曲迪 ;

闫青芝 ;

陈墨 ;

白国人 ;

宋学颖 ;

靳春艳 .

中国专利 :CN209831729U ,2019-12-24

[8]

一种衬底片冲洗装置 [P].

郑金龙 ;

王滔 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222817452U ,2025-05-02

[9]

一种衬底片旋转腐蚀清洗设备及其清洗方法 [P].

李祥彪 ;

仲崇贵 ;

杨培培 .

中国专利 :CN112222062A ,2021-01-15

[10]

一种衬底片的甩干装置 [P].

王滔 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN222421898U ,2025-01-28

← 1 2 3 4 5 →