加工方法以及加工装置

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申请号
CN202180013896.5
申请日
2021-02-04
公开(公告)号
CN115066314A
公开(公告)日
2022-09-16
发明(设计)人
坂上贵志
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
B24B700
IPC分类号
B24B4902 H01L21304
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
加工方法以及加工装置 [P]. 
能丸圭司 .
中国专利 :CN103515315A ,2014-01-15
[2]
加工方法以及加工装置 [P]. 
谷川裕海 .
中国专利 :CN106064243B ,2016-11-02
[3]
加工装置以及加工方法 [P]. 
宫川智树 .
日本专利 :CN117943695A ,2024-04-30
[4]
加工装置以及加工方法 [P]. 
熊谷德成 ;
大谷民雄 ;
长沢胜浩 ;
若松纯 ;
镰田弘幸 ;
尾崎友昭 .
中国专利 :CN101733439A ,2010-06-16
[5]
加工装置以及加工方法 [P]. 
藤原直己 ;
黄善夏 .
中国专利 :CN109420979A ,2019-03-05
[6]
加工方法以及加工装置 [P]. 
坂上贵志 .
日本专利 :CN115066314B ,2024-05-28
[7]
加工方法以及加工装置 [P]. 
野中博树 .
中国专利 :CN110014176B ,2019-07-16
[8]
加工装置以及加工方法 [P]. 
宫川智树 .
日本专利 :CN117943696A ,2024-04-30
[9]
加工装置以及加工方法 [P]. 
小又清史 ;
长谷川彰一 ;
稻垣达彦 ;
高山智一 .
中国专利 :CN107081570A ,2017-08-22
[10]
加工方法以及加工装置 [P]. 
坂上贵志 .
日本专利 :CN118322002A ,2024-07-12