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多色自对准触点选择性蚀刻
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910183568.4
申请日：
2019-03-11
公开(公告)号：
CN110265297A
公开(公告)日：
2019-09-20
发明(设计)人：
林永振
周清军
张郢
黄和湧
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21308
IPC分类号：
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;赵静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/308 申请日:20190311 |
| 2019-09-20 | 公开 | 公开 |