曝光装置和物品制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810814943.6

申请日：

2018-07-24

公开(公告)号：

CN109307987A

公开(公告)日：

2019-02-05

发明(设计)人：

水谷将树

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

宋岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180724
2019-02-05	公开	公开
2021-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

日本专利 :CN113759666B ,2024-09-13

[2]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

中国专利 :CN113759666A ,2021-12-07

[3]

曝光装置、曝光方法、决定方法和物品制造方法 [P].

八讲学 .

日本专利 :CN111948910B ,2024-08-13

[4]

曝光装置、曝光方法、决定方法和物品制造方法 [P].

八讲学 .

中国专利 :CN111948910A ,2020-11-17

[5]

曝光装置和物品制造方法 [P].

三上晃司 ;

繁延笃 .

中国专利 :CN111694225A ,2020-09-22

[6]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

大野文靖 .

中国专利 :CN107783383B ,2018-03-09

[7]

曝光装置和物品的制造方法 [P].

井上充 ;

伊藤敦史 .

中国专利 :CN113126448A ,2021-07-16

[8]

曝光装置和物品的制造方法 [P].

井上充 ;

伊藤敦史 .

日本专利 :CN113126448B ,2025-01-07

[9]

曝光装置、曝光方法和制造物品的方法 [P].

宫野皓贵 ;

小泉僚 ;

茂泉纯 ;

三上晃司 .

中国专利 :CN112130421A ,2020-12-25

[10]

曝光方法、曝光装置和物品制造方法 [P].

籔伸彦 .

中国专利 :CN105573064A ,2016-05-11

← 1 2 3 4 5 →