曝光装置和物品的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110037169.4

申请日：

2021-01-12

公开(公告)号：

CN113126448B

公开(公告)日：

2025-01-07

发明(设计)人：

井上充伊藤敦史

申请人：

佳能株式会社

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

孙蕾

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-07	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光装置和物品的制造方法 [P].

井上充 ;

伊藤敦史 .

中国专利 :CN113126448A ,2021-07-16

[2]

曝光装置和物品制造方法 [P].

三上晃司 ;

繁延笃 .

中国专利 :CN111694225A ,2020-09-22

[3]

曝光装置和物品制造方法 [P].

水谷将树 .

中国专利 :CN109307987A ,2019-02-05

[4]

曝光方法、曝光装置和制造物品的方法 [P].

小泉僚 ;

中村忠央 .

中国专利 :CN109388034B ,2019-02-26

[5]

曝光装置、曝光方法和制造物品的方法 [P].

宫野皓贵 ;

小泉僚 ;

茂泉纯 ;

三上晃司 .

中国专利 :CN112130421A ,2020-12-25

[6]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

日本专利 :CN113759666B ,2024-09-13

[7]

曝光方法、曝光装置和物品制造方法 [P].

籔伸彦 .

中国专利 :CN105573064A ,2016-05-11

[8]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

本岛顺一 .

日本专利 :CN118838124A ,2024-10-25

[9]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

大阪升 .

中国专利 :CN110286562A ,2019-09-27

[10]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

中国专利 :CN113759666A ,2021-12-07

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