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一种真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011164127.9
申请日：
2020-10-27
公开(公告)号：
CN112267102A
公开(公告)日：
2021-01-26
发明(设计)人：
李县内
申请人：
申请人地址：
363000 福建省漳州市漳浦县深土镇山边村山边282号
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1428
代理机构：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人：
王依
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20201027 |