一种无蜡抛光吸附垫正压热贴合工艺

被引：0

申请号：

CN202210752125.4

申请日：

2022-06-28

公开(公告)号：

CN115008341A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

黄军慧

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市虎门镇雅瑶工业区东二路4号502室

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 H01L21683

代理机构：

北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624

代理人：

田野

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20220628
2022-09-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种无蜡抛光吸附垫负压热贴合工艺 [P].

黄军慧 .

中国专利 :CN115106927B ,2024-06-11

[2]

一种无蜡抛光吸附垫负压热贴合工艺 [P].

黄军慧 .

中国专利 :CN115106927A ,2022-09-27

[3]

一种双层无蜡抛光吸附垫 [P].

黄军慧 .

中国专利 :CN220839568U ,2024-04-26

[4]

蓝宝石抛光用无蜡吸附垫 [P].

吴康 ;

邓源 ;

黄微 .

中国专利 :CN109500729A ,2019-03-22

[5]

一种无蜡抛光吸附垫粘贴装置 [P].

赵利芳 ;

由佰玲 ;

石明 ;

王超 ;

王广勇 ;

刘九江 .

中国专利 :CN207757470U ,2018-08-24

[6]

一种无蜡吸附垫 [P].

雷龙金 .

中国专利 :CN210998133U ,2020-07-14

[7]

一种组合式无蜡抛光吸附垫 [P].

黄军慧 .

中国专利 :CN221088583U ,2024-06-07

[8]

一种可控晶片厚度的无蜡抛光吸附垫 [P].

雷龙金 .

中国专利 :CN222059973U ,2024-11-26

[9]

一种用于砷化镓晶片无蜡抛光工艺中的无蜡垫冲压装置 [P].

于会永 ;

冯佳峰 ;

王文昌 ;

赵春峰 ;

袁韶阳 ;

荆爱明 ;

穆成锋 ;

张军军 .

中国专利 :CN209955373U ,2020-01-17

[10]

一种粘贴陶瓷盘无蜡吸附垫的装置 [P].

陆继波 .

中国专利 :CN216422234U ,2022-05-03

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