改进氧化锌单晶质量的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210327762.3

申请日：

2012-09-06

公开(公告)号：

CN102912447A

公开(公告)日：

2013-02-06

发明(设计)人：

陈光珠杭寅陈喆张连翰何明珠王军宁凯杰张沛雄王向水

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

C30B2916 H01L21324

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-06	公开	公开
2015-10-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101721644777 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2012103277623 申请公布日:20130206
2013-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101413722975 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2012103277623 申请日:20120906

共 50 条

[1]

氧化锌单晶 [P].

吉冈贤治 ;

米山博 ;

前田克已 ;

新仓郁生 ;

佐藤充 ;

伊藤真隅 .

中国专利 :CN100390329C ,2006-05-03

[2]

氧化锌单晶衬底级基片的抛光方法 [P].

陈光珠 ;

杭寅 ;

兰志成 ;

李志鸿 ;

华如江 ;

张连翰 ;

何明珠 ;

李抒智 ;

杨卫桥 .

中国专利 :CN100469531C ,2008-02-20

[3]

氧化锌单晶的制造方法 [P].

田中吉积 ;

藤井一宏 .

中国专利 :CN101646809A ,2010-02-10

[4]

氧化锌单晶及其制造方法 [P].

三川丰 ;

福富敬次 ;

铃木崇雄 ;

伊藤浩久 .

中国专利 :CN101983263A ,2011-03-02

[5]

片状纳米氧化锌单晶的制备方法 [P].

安黛宗 ;

肖劲东 ;

李东英 ;

胡奎玲 .

中国专利 :CN1238577C ,2004-09-08

[6]

利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法 [P].

沈文娟 ;

曾一平 ;

王俊 .

中国专利 :CN1840747A ,2006-10-04

[7]

氧化锌单晶的通气坩埚下降生长方法 [P].

徐家跃 ;

李新华 ;

申慧 ;

钱国兴 ;

罗丽庆 ;

武安华 ;

林雅芳 .

中国专利 :CN1844488A ,2006-10-11

[8]

氧化锌单晶的一种熔盐生长方法 [P].

涂朝阳 ;

朱昭捷 ;

李坚富 ;

游振宇 ;

王燕 .

中国专利 :CN101089244A ,2007-12-19

[9]

一种氧化锌单晶纳米薄膜材料的制备方法 [P].

任峰 ;

蒋昌忠 .

中国专利 :CN100547123C ,2007-06-06

[10]

具有浸润性可控的氧化锌单晶表面改性方法 [P].

蒋毅坚 ;

谢思静 ;

赵艳 .

中国专利 :CN102251285B ,2011-11-23

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