氧化锌单晶衬底级基片的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710046015.1

申请日：

2007-09-14

公开(公告)号：

CN100469531C

公开(公告)日：

2008-02-20

发明(设计)人：

陈光珠杭寅兰志成李志鸿华如江张连翰何明珠李抒智杨卫桥

申请人：

申请人地址：

201800上海市800-211邮政信箱

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B2900 H01L21304 C09G102 C09G104

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101347532255 IPC(主分类):B24B 37/04 专利号:ZL2007100460151 申请日:20070914 授权公告日:20090318 终止日期:20110914
2008-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-02-20	公开	公开
2009-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

可用于光电器件衬底的氧化锌单晶抛光技术 [P].

林文文 ;

黄丰 ;

林璋 ;

林钟潮 ;

黄嘉魁 ;

陈达贵 ;

陈赛英 .

中国专利 :CN102240967A ,2011-11-16

[2]

改进氧化锌单晶质量的处理方法 [P].

陈光珠 ;

杭寅 ;

陈喆 ;

张连翰 ;

何明珠 ;

王军 ;

宁凯杰 ;

张沛雄 ;

王向水 .

中国专利 :CN102912447A ,2013-02-06

[3]

氧化锌单晶 [P].

吉冈贤治 ;

米山博 ;

前田克已 ;

新仓郁生 ;

佐藤充 ;

伊藤真隅 .

中国专利 :CN100390329C ,2006-05-03

[4]

氧化锌单晶的制造方法 [P].

田中吉积 ;

藤井一宏 .

中国专利 :CN101646809A ,2010-02-10

[5]

氧化锌单晶及其制造方法 [P].

三川丰 ;

福富敬次 ;

铃木崇雄 ;

伊藤浩久 .

中国专利 :CN101983263A ,2011-03-02

[6]

用于生成氧化锌薄膜的钨酸锌单晶衬底的制备方法 [P].

臧竞存 ;

邹玉林 ;

迟静 ;

何斌 ;

翟琳 .

中国专利 :CN1588616A ,2005-03-02

[7]

片状纳米氧化锌单晶的制备方法 [P].

安黛宗 ;

肖劲东 ;

李东英 ;

胡奎玲 .

中国专利 :CN1238577C ,2004-09-08

[8]

利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法 [P].

沈文娟 ;

曾一平 ;

王俊 .

中国专利 :CN1840747A ,2006-10-04

[9]

氧化锌单晶的通气坩埚下降生长方法 [P].

徐家跃 ;

李新华 ;

申慧 ;

钱国兴 ;

罗丽庆 ;

武安华 ;

林雅芳 .

中国专利 :CN1844488A ,2006-10-11

[10]

单晶氧化镓衬底基片表面原子级台阶结构的制备方法 [P].

徐晓明 ;

周海 ;

黄传锦 ;

徐彤彤 ;

夏斯伟 ;

龚凯 .

中国专利 :CN106784189A ,2017-05-31

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