用于稳定晶片安置的可替换边缘环和使用该边缘环的系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980023655.1

申请日：

2019-02-01

公开(公告)号：

CN112368806A

公开(公告)日：

2021-02-12

发明(设计)人：

威廉·A·莫法特克雷格·瓦尔特·麦科伊

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

北京金信知识产权代理有限公司 11225

代理人：

王智

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20190201
2021-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

用于衬底处理的静电边缘环安置系统 [P].

亚历山大·马丘什金 ;

基思·科门丹特 ;

亚当·克里斯多夫·梅斯 ;

达雷尔·埃利希 ;

约翰·霍兰 ;

菲力克斯·莱布·科扎克维奇 ;

阿列克谢·马拉赫塔诺夫 .

中国专利 :CN115053323A ,2022-09-13

[2]

用于等离子体处理系统的边缘环和包括该边缘环的系统 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

汤姆·A·坎普 ;

赫马·斯瓦鲁普·莫皮迪维 .

中国专利 :CN212874424U ,2021-04-02

[3]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN118248615A ,2024-06-25

[4]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN113707530B ,2024-07-30

[5]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN118248617A ,2024-06-25

[6]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN118248616A ,2024-06-25

[7]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

美国专利 :CN110506326B ,2024-03-19

[8]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

中国专利 :CN113707530A ,2021-11-26

[9]

可移动的边缘环设计 [P].

希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫 ;

乔恩·麦克切斯尼 .

中国专利 :CN110506326A ,2019-11-26

[10]

用于等离子体晶片处理的混合边缘环 [P].

布赖恩·麦科米林 ;

亚瑟·萨托 ;

尼尔·本杰明 .

中国专利 :CN103996593A ,2014-08-20

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