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一种半导体热板光刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020578442.5
申请日：
2020-04-17
公开(公告)号：
CN211554637U
公开(公告)日：
2020-09-22
发明(设计)人：
徐宏进
申请人：
申请人地址：
225100 江苏省扬州市扬州高新技术产业开发区华钢路8号1
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人：
李朦
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-22 | 授权 | 授权 |