共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种半导体热板光刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621045491.2
申请日：
2016-09-09
公开(公告)号：
CN206057798U
公开(公告)日：
2017-03-29
发明(设计)人：
卓廷厚
申请人：
申请人地址：
福建省厦门市思明区镇海路26号六楼B区17单元
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F742
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-03-29 | 授权 | 授权 |