一种提高硅片平整度的抛光方法

被引：0

申请号：

CN202210925895.4

申请日：

2022-08-03

公开(公告)号：

CN115446726A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

刘畅南鑫王帅谭永麟孙晨光王彦君

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 B24B3734

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20220803
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种提高硅片平整度的抛光头 [P].

沈彪 ;

李向清 ;

胡德良 .

中国专利 :CN202185817U ,2012-04-11

[2]

一种提高硅片表面平整度的抛光工艺 [P].

殷博文 ;

张超仁 ;

曹锦伟 ;

王彦君 ;

孙晨光 .

中国专利 :CN113977438A ,2022-01-28

[3]

一种高平整度8英寸硅片的抛光工艺 [P].

王广勇 ;

金文明 ;

李星 ;

石明 ;

张琪 ;

韩鹏飞 ;

褚鑫 ;

王聚安 ;

吕莹 ;

孙晨光 .

中国专利 :CN110281082A ,2019-09-27

[4]

一种高平整度衬底的抛光方法 [P].

宋志强 ;

刘兴达 ;

童三红 ;

吕春富 ;

刘宇 ;

罗福敏 ;

胡文青 ;

鲁闻华 ;

杨秋云 .

中国专利 :CN119748211A ,2025-04-04

[5]

一种改善表面平整度的抛光方法 [P].

成子恒 ;

潘仁达 ;

张超仁 ;

黄春峰 .

中国专利 :CN115502886A ,2022-12-23

[6]

提高浮法玻璃平整度的抛光设备及抛光方法 [P].

陈国庆 .

中国专利 :CN110281137B ,2019-09-27

[7]

提高硅片表面平整度的方法及其制造的太阳能电池硅片 [P].

王明琪 .

中国专利 :CN119008383A ,2024-11-22

[8]

一种改善硅片平整度的裸抛机 [P].

谢猛 ;

杨昱 ;

孔铮 .

中国专利 :CN216442296U ,2022-05-06

[9]

一种改善硅抛光片平整度的方法 [P].

石明 ;

李诺 ;

武卫 ;

孙晨光 ;

王聚安 ;

王彦君 .

中国专利 :CN111230605A ,2020-06-05

[10]

一种提高刺绣平整度的刺绣方法 [P].

纪慧娟 .

中国专利 :CN106283443A ,2017-01-04

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