无毒的抗蚀组合物及其使用方法

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专利类型
发明
申请号
CN98104100.0
申请日
1990-10-23
公开(公告)号
CN1215742A
公开(公告)日
1999-05-05
发明(设计)人
艾哈迈德·沙拉比 罗伯特·N·米勒
申请人
申请人地址
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
C09D508
IPC分类号
C09D712 C09D20102 B05D714
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
王景朝
法律状态
实质审查请求的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
无毒的抗蚀组合物及其使用方法 [P]. 
艾哈迈德·沙拉比 ;
罗伯特·N·米勒 .
中国专利 :CN1191233A ,1998-08-26
[2]
无毒的抗蚀组合物及其使用方法 [P]. 
艾哈迈德·沙拉比 ;
罗伯特·N·米勒 .
中国专利 :CN1136273C ,1998-08-26
[3]
抗蚀剂组合物和抗蚀剂组合物的使用方法 [P]. 
冈田拓巳 ;
佐藤英之 ;
片桐诚之 ;
铃木周 .
中国专利 :CN115151863A ,2022-10-04
[4]
抗反射组合物及其使用方法 [P]. 
姚晖蓉 ;
林观阳 ;
单槛会 ;
赵俊衍 ;
S·K·马伦 .
中国专利 :CN102741753A ,2012-10-17
[5]
抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜形成方法 [P]. 
冈田拓巳 ;
星野良辅 ;
佐藤英之 ;
片桐诚之 ;
铃木周 ;
越后雅敏 .
日本专利 :CN117716290A ,2024-03-15
[6]
抗血管生成的组合物及其使用方法 [P]. 
汪建平 .
中国专利 :CN101412744A ,2009-04-22
[7]
抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 [P]. 
藤冈东洋藏 ;
山崎勇人 .
中国专利 :CN102301283A ,2011-12-28
[8]
抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的导电图案的制造方法 [P]. 
阿部将 ;
高桥元树 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN105086344A ,2015-11-25
[9]
抗蚀组合物 [P]. 
川口泰秀 ;
金子勇 ;
武部洋子 ;
冈田伸治 ;
横小路修 .
中国专利 :CN1711504A ,2005-12-21
[10]
抗蠕虫化合物、组合物及其使用方法 [P]. 
A·隆 ;
D·E·维尔金森 .
中国专利 :CN107257793A ,2017-10-17