一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210051815.3

申请日：

2012-03-01

公开(公告)号：

CN102586741A

公开(公告)日：

2012-07-18

发明(设计)人：

叶飞曹善鹏侯波张文征

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

赵淑梅

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20120301 授权公告日:20140409 终止日期:20170301
2012-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101327313273 IPC(主分类):C23C 14/30 专利申请号:2012100518153 申请日:20120301
2014-04-09	授权	授权
2012-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

掺杂氧化锌透明薄膜及其制备方法 [P].

谈一波 ;

吴雪飞 ;

黄琦凯 .

中国专利 :CN103305792A ,2013-09-18

[2]

一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法和应用 [P].

姚彦 ;

毕梦雪 ;

孙徕博 ;

黄陆军 ;

耿林 ;

孙枫泊 ;

鲁伟航 ;

张昕 .

中国专利 :CN120555960A ,2025-08-29

[3]

一种掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

张发荣 ;

李建生 ;

王少杰 ;

刘建东 ;

李青超 ;

温子健 .

中国专利 :CN109360691A ,2019-02-19

[4]

一种铝掺杂氧化锌薄膜表面改性材料、制备方法及电池 [P].

孟磊 ;

杨涛 .

中国专利 :CN109830545B ,2019-05-31

[5]

制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法 [P].

洪瑞金 ;

张大伟 ;

王琦 ;

陶春先 ;

黄元申 ;

盛斌 .

中国专利 :CN103343327A ,2013-10-09

[6]

铪掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

胡习光 ;

秦国强 ;

常金永 ;

张志祥 .

中国专利 :CN104060232A ,2014-09-24

[7]

一种Li掺杂的P-型氧化锌薄膜的制备方法 [P].

马忠权 ;

周呈悦 .

中国专利 :CN101671119A ,2010-03-17

[8]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

[9]

一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P].

张阳 ;

卢维尔 ;

董亚斌 ;

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866264A ,2014-06-18

[10]

一种磁控溅射法制备钼掺杂氧化锌薄膜的方法 [P].

陈贵锋 ;

刘飞飞 ;

张娇 ;

赵晓丽 ;

张辉 .

中国专利 :CN104213090A ,2014-12-17

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