一种磁控溅射法制备钼掺杂氧化锌薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410431213.X

申请日：

2014-08-29

公开(公告)号：

CN104213090A

公开(公告)日：

2014-12-17

发明(设计)人：

陈贵锋刘飞飞张娇赵晓丽张辉

申请人：

申请人地址：

300401 天津市北辰区双口镇西平道5340号河北工业大学

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

韩介梅

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749145902 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:201410431213X 申请公布日:20141217
2015-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101594991765 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:201410431213X 申请日:20140829
2014-12-17	公开	公开

共 50 条

[1]

射频磁控溅射法制备ZnO∶Zr透明导电薄膜的方法 [P].

韩圣浩 ;

吕茂水 ;

叶丽娜 ;

庞智勇 ;

修显武 .

中国专利 :CN1718841A ,2006-01-11

[2]

一种运用磁控溅射法制备透明导电薄膜的方法 [P].

李文英 ;

尹桂林 ;

张柯 ;

姜新来 ;

钟建 ;

余震 ;

何丹农 .

中国专利 :CN102719792A ,2012-10-10

[3]

掺杂氧化锌透明薄膜及其制备方法 [P].

谈一波 ;

吴雪飞 ;

黄琦凯 .

中国专利 :CN103305792A ,2013-09-18

[4]

一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P].

叶飞 ;

曹善鹏 ;

侯波 ;

张文征 .

中国专利 :CN102586741A ,2012-07-18

[5]

磁控溅射法制备二氧化钒薄膜的方法 [P].

金平实 ;

曹逊 ;

姜萌 ;

周怀娟 ;

罗宏杰 ;

包山虎 .

中国专利 :CN104099563A ,2014-10-15

[6]

氟和钼共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

黄仕华 ;

丁月珂 ;

陆肖励 ;

陈达 .

中国专利 :CN109504941A ,2019-03-22

[7]

掺钼的氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 [P].

韩圣浩 ;

修显武 ;

庞智勇 ;

吕茂水 ;

叶丽娜 ;

林亮 .

中国专利 :CN100353464C ,2006-08-23

[8]

一种利用磁控溅射法制备Nb薄膜的方法 [P].

贾小氢 ;

刘晓宇 ;

康琳 ;

吴培亨 .

中国专利 :CN102864427A ,2013-01-09

[9]

一种利用磁控溅射法制备NbTi薄膜的方法 [P].

贾小氢 ;

刘晓宇 ;

康琳 ;

吴培亨 .

中国专利 :CN101914753A ,2010-12-15

[10]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

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