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MEMS膜片及MEMS传感器芯片
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911411306.5
申请日：
2019-12-31
公开(公告)号：
CN111137842A
公开(公告)日：
2020-05-12
发明(设计)人：
何宪龙
申请人：
申请人地址：
261000 山东省潍坊市坊子区凤山路68号
IPC主分类号：
B81B702
IPC分类号：
B81B300
代理机构：
深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373
代理人：
沈祖锋;吴京隆
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20191231 |
| 2020-05-12 | 公开 | 公开 |