一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用

被引：0

申请号：

CN202210114463.5

申请日：

2022-01-30

公开(公告)号：

CN114736120A

公开(公告)日：

2022-07-12

发明(设计)人：

贾英明曹辰辉税新凤庞玉东

申请人：

申请人地址：

239500 安徽省滁州市全椒县十谭现代产业园朝阳路006号

IPC主分类号：

C07C6708

IPC分类号：

C07C6963 C07C69753 C07C30332 C07C30917 C07C38112 G03F7004

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

张雅文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-12	公开	公开
2022-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 67/08 申请日:20220130

共 50 条

[21]

一种浸没式ArF光刻胶用树脂、制备方法及浸没式ArF光刻胶 [P].

朱凉伟 ;

李培源 ;

陈礼翼 ;

尹航 ;

陈鹏 ;

沈博 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN119798524A ,2025-04-11

[22]

一种适用于KrF光刻胶的光引发剂、制备方法和光刻胶组合物 [P].

张月红 ;

冯芳华 .

中国专利 :CN117843516B ,2024-05-28

[23]

一种适用于KrF光刻胶的光引发剂、制备方法和光刻胶组合物 [P].

张月红 ;

冯芳华 .

中国专利 :CN117843516A ,2024-04-09

[24]

一种三芳基硫鎓盐及其制备方法和应用 [P].

张变香 ;

常姣 ;

魏保利 ;

闫光红 .

中国专利 :CN103274978A ,2013-09-04

[25]

硫鎓盐光引发剂、其制备方法、包含其的光固化组合物及其应用 [P].

钱晓春 ;

胡春青 ;

于培培 ;

倪玉锋 .

中国专利 :CN109456242B ,2019-03-12

[26]

基于硫鎓盐的单分子树脂产酸剂及其光刻胶组合物 [P].

陈金平 ;

李嫕 ;

张卫杰 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN111978228A ,2020-11-24

[27]

一种双-三苯基硫鎓盐化合物及其应用 [P].

钱晓春 ;

胡春青 ;

金晓蓓 .

中国专利 :CN111018763A ,2020-04-17

[28]

基于金刚烷的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

李嫕 ;

刘卓然 ;

陈金平 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN117658880A ,2024-03-08

[29]

一种吡啶鎓盐光引发剂及其制备方法和应用 [P].

朱乙 ;

朱叶 ;

李伦 ;

张静妍 .

中国专利 :CN114315807A ,2022-04-12

[30]

一种硒鎓盐光引发剂及其制备方法和应用 [P].

朱乙 ;

葛艳芳 ;

刘鹏程 .

中国专利 :CN120136814A ,2025-06-13

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