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混合模拟组件的电容器制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02143075.6
申请日：
2002-09-27
公开(公告)号：
CN1256766C
公开(公告)日：
2004-03-31
发明(设计)人：
高荣正
申请人：
申请人地址：
201203上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号
IPC主分类号：
H01L21822
IPC分类号：
代理机构：
上海光华专利事务所
代理人：
余明伟
法律状态：
公开
国省代码：
引用
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-03-31 | 公开 | 公开 |
| 2004-09-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2009-12-02 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 2006-05-17 | 授权 | 授权 |