锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03148177.9

申请日：

2003-07-04

公开(公告)号：

CN1475465A

公开(公告)日：

2004-02-18

发明(设计)人：

赵大庆董民超

申请人：

申请人地址：

100084北京市北京100084－82信箱

IPC主分类号：

C04B4189

IPC分类号：

C04B4190

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-08-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2004-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108218419A ,2018-06-29

[2]

一种铟镓锌氧化物粉体及其陶瓷靶材的制备方法 [P].

许积文 ;

王华 ;

张小文 .

中国专利 :CN103193262A ,2013-07-10

[3]

一种锌镓铝三元氧化物旋转陶瓷靶材及其制备方法 [P].

刘秉宁 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

杨小林 ;

征卫星 ;

韩建华 ;

宋强 ;

胡强楠 ;

方熙成 ;

刘伟 ;

王应旺 ;

刘东平 .

中国专利 :CN103695849A ,2014-04-02

[4]

铪铟锌氧化物靶材的制作方法 [P].

信恩龙 ;

李喜峰 ;

张建华 .

中国专利 :CN102864423A ,2013-01-09

[5]

用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材 [P].

赵大庆 ;

庄大明 ;

方玲 ;

梁展鸿 ;

俞锦方 ;

沈淦荣 ;

杨伟方 .

中国专利 :CN1289128A ,2001-03-28

[6]

铟锡氧化物靶材的制备方法 [P].

龚鸣明 ;

刘朗明 ;

肖卫军 ;

彭小苏 .

中国专利 :CN1453392A ,2003-11-05

[7]

一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用 [P].

庄大明 ;

张弓 ;

方玲 ;

侯亚奇 ;

杨波 ;

赵方红 .

中国专利 :CN1413947A ,2003-04-30

[8]

铟锆氧化物靶材及其制法及铟锆氧化物薄膜 [P].

柯伯贤 ;

谢承谚 ;

简毓苍 ;

刘砚鸣 .

中国专利 :CN113201714A ,2021-08-03

[9]

一种氧化物陶瓷靶材及其制备方法 [P].

许积文 ;

周贤界 ;

王华 ;

杨玲 ;

袁昌来 ;

张小文 .

中国专利 :CN104291792A ,2015-01-21

[10]

氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114059025A ,2022-02-18

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