铪铟锌氧化物靶材的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210319449.5

申请日：

2012-09-03

公开(公告)号：

CN102864423A

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

信恩龙李喜峰张建华

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区上大路99号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

上海上大专利事务所(普通合伙) 31205

代理人：

何文欣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-09	公开	公开
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397919704 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012103194495 申请日:20120903
2014-10-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101706418997 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012103194495 申请公布日:20130109

共 50 条

[1]

铟锡氧化物靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

宋佳 .

中国专利 :CN103787651B ,2014-05-14

[2]

铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制作方法 [P].

李松杉 .

中国专利 :CN107293493A ,2017-10-24

[3]

一种铝钕铟锌氧化物旋转靶及其制备方法 [P].

文宏福 .

中国专利 :CN112079626A ,2020-12-15

[4]

锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法 [P].

赵大庆 ;

董民超 .

中国专利 :CN1475465A ,2004-02-18

[5]

一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法 [P].

田超 ;

孙红波 ;

王桂磊 ;

周俊 ;

平延磊 .

中国专利 :CN117448743A ,2024-01-26

[6]

一种铟锌氧化物晶体管的工艺制作方法 [P].

韩德栋 ;

熊龙海 ;

解靖烨 ;

史建兵 ;

许登钦 ;

张鸣鹤 ;

张兴 ;

刘力锋 .

中国专利 :CN117766404A ,2024-03-26

[7]

铟锡氧化物靶材的制备方法 [P].

龚鸣明 ;

刘朗明 ;

肖卫军 ;

彭小苏 .

中国专利 :CN1453392A ,2003-11-05

[8]

氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114059025A ,2022-02-18

[9]

铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板 [P].

夏玉明 ;

卓恩宗 .

中国专利 :CN110438472A ,2019-11-12

[10]

锌铟锡氧化物基薄膜晶体管及其制作方法 [P].

李然 ;

张希清 ;

苏金宝 ;

戴仕千 ;

麻尧斌 ;

田龙杰 ;

王琪 ;

王晔 .

中国专利 :CN108258055A ,2018-07-06

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