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量测方法和设备以及关联的计算机产品

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880010063.1
申请日：
2018-01-08
公开(公告)号：
CN110249268A
公开(公告)日：
2019-09-17
发明(设计)人：
A·J·乌尔班奇克 H·范德拉恩 阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 曾倩虹 杰伊·健辉·陈 G·格热拉
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G01N2147 H01L2166 G01N21956
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
王静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-10-15 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180108
2019-09-17 公开 公开
2021-08-24 授权 授权
共 50 条
[1]
量测方法和相关的计算机产品 [P]. 
N·加瓦赫里 ;
M·范德沙尔 ;
张铁明 ;
H·D·波斯 ;
P·沃纳尔 ;
S·巴拉米 ;
M·哈吉阿玛迪 ;
S·塔拉布林 ;
M·塞姆克夫 .
:CN114080536B ,2025-05-30
[2]
量测方法和相关的计算机产品 [P]. 
N·加瓦赫里 ;
M·范德沙尔 ;
张铁明 ;
H·D·波斯 ;
P·沃纳尔 ;
S·巴拉米 ;
M·哈吉阿玛迪 ;
S·塔拉布林 ;
M·塞姆克夫 .
中国专利 :CN114080536A ,2022-02-22
[3]
量测方法和设备以及计算机程序 [P]. 
马克·约翰尼斯·努特 ;
S·G·J·马西森 ;
K·巴塔查里亚 ;
边珍武 ;
金贤洙 ;
张源宰 ;
T·D·戴维斯 .
中国专利 :CN110998448B ,2020-04-10
[4]
量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P]. 
理查德·金塔尼利亚 ;
A·J·登鲍埃夫 .
:CN113376975B ,2025-01-07
[5]
量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P]. 
理查德·金塔尼利亚 ;
A·J·登鲍埃夫 .
中国专利 :CN113376975A ,2021-09-10
[6]
量测方法、设备和计算机程序 [P]. 
S·阿尔·拉赫曼 .
中国专利 :CN110300928A ,2019-10-01
[7]
量测方法、设备和计算机程序 [P]. 
阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;
M·哈伊赫曼达 .
中国专利 :CN112352202A ,2021-02-09
[8]
量测方法、设备和计算机程序 [P]. 
S·塔拉布林 ;
S·P·S·哈斯廷斯 ;
A·E·A·库伦 .
中国专利 :CN109690409A ,2019-04-26
[9]
量测方法、设备和计算机程序 [P]. 
阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;
M·哈伊赫曼达 .
:CN112352202B ,2024-04-09
[10]
量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P]. 
T·希尤维斯 ;
H·A·J·克瑞姆 .
中国专利 :CN109564393B ,2019-04-02
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