量测方法和相关的计算机产品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080049670.6

申请日：

2020-07-07

公开(公告)号：

CN114080536B

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

N·加瓦赫里 M·范德沙尔张铁明 H·D·波斯 P·沃纳尔 S·巴拉米 M·哈吉阿玛迪 S·塔拉布林 M·塞姆克夫

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G01B11/00

IPC分类号：

G01B11/06 G03F7/20

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

赵林琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

量测方法和相关的计算机产品 [P].

N·加瓦赫里 ;

M·范德沙尔 ;

张铁明 ;

H·D·波斯 ;

P·沃纳尔 ;

S·巴拉米 ;

M·哈吉阿玛迪 ;

S·塔拉布林 ;

M·塞姆克夫 .

中国专利 :CN114080536A ,2022-02-22

[2]

量测方法和设备以及关联的计算机产品 [P].

A·J·乌尔班奇克 ;

H·范德拉恩 ;

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

曾倩虹 ;

杰伊·健辉·陈 ;

G·格热拉 .

中国专利 :CN110249268A ,2019-09-17

[3]

量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

:CN113376975B ,2025-01-07

[4]

量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN113376975A ,2021-09-10

[5]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·阿尔·拉赫曼 .

中国专利 :CN110300928A ,2019-10-01

[6]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

中国专利 :CN112352202A ,2021-02-09

[7]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·塔拉布林 ;

S·P·S·哈斯廷斯 ;

A·E·A·库伦 .

中国专利 :CN109690409A ,2019-04-26

[8]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

:CN112352202B ,2024-04-09

[9]

感测芯片、量测芯片、量测系统及其相关方法与计算机程序产品 [P].

俞再钧 ;

李楠辉 .

:CN118057130A ,2024-05-21

[10]

感测芯片、量测芯片、量测系统及其相关方法与计算机程序产品 [P].

俞再钧 ;

李楠辉 .

:CN118057131A ,2024-05-21

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