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一种激光干涉仪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011053058.4
申请日：
2020-09-29
公开(公告)号：
CN112146563B
公开(公告)日：
2020-12-29
发明(设计)人：
苏炎
李昱
陈居凯
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区向街8号
IPC主分类号：
G01B902015
IPC分类号：
G02B530
G02B2728
代理机构：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369
代理人：
孔凡玲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-15 | 授权 | 授权 |
| 2021-01-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20200929 |