共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
用于对准基板的方法和装置
被引：0
申请号：
CN201980102653.1
申请日：
2019-12-10
公开(公告)号：
CN114730719A
公开(公告)日：
2022-07-08
发明(设计)人：
J·克罗尔
申请人：
申请人地址：
奥地利圣弗洛里安
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
卢江;刘春元
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-08 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191210 |