蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911280341.8

申请日：

2019-12-13

公开(公告)号：

CN111321375A

公开(公告)日：

2020-06-23

发明(设计)人：

三村拓平

申请人：

申请人地址：

日本新泻县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 C23C1454

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

邓宗庆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20191213
2020-06-23	公开	公开

共 50 条

[1]

输送载体、蒸镀装置以及电子器件的制造装置 [P].

小川滋之 ;

柴田匠 ;

塚本健太 ;

秋田和夫 .

中国专利 :CN111321374B ,2020-06-23

[2]

蒸镀装置以及使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法 [P].

泷口明 .

中国专利 :CN106062240B ,2016-10-26

[3]

对准装置、蒸镀装置、电子器件的制造装置以及对准方法 [P].

姬路敏明 .

中国专利 :CN111326461A ,2020-06-23

[4]

掩模保持机构、蒸镀装置以及电子器件的制造装置 [P].

江泽光晴 ;

宫崎圭介 .

中国专利 :CN112176281A ,2021-01-05

[5]

蒸镀方法以及蒸镀装置 [P].

万冀豫 ;

汪栋 ;

宋勇志 ;

姜晶晶 ;

齐鹏煜 .

中国专利 :CN109957762A ,2019-07-02

[6]

蒸镀装置以及蒸镀方法 [P].

末永真吾 ;

山下和吉 ;

滨永教彰 .

中国专利 :CN111206226A ,2020-05-29

[7]

蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法 [P].

泷口明 .

中国专利 :CN106103790B ,2016-11-09

[8]

蒸镀材料、蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置的制造方法 [P].

小林勇毅 .

日本专利 :CN118147586A ,2024-06-07

[9]

蒸镀装置、蒸镀方法以及电子设备的制造方法 [P].

小泽雅基 ;

住谷利治 ;

相泽雄树 .

中国专利 :CN110578116A ,2019-12-17

[10]

蒸镀源以及蒸镀装置 [P].

藤井严 ;

菊地诚 .

中国专利 :CN113039306A ,2021-06-25

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