对准装置、蒸镀装置、电子器件的制造装置以及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911280001.5

申请日：

2019-12-13

公开(公告)号：

CN111326461A

公开(公告)日：

2020-06-23

发明(设计)人：

姬路敏明

申请人：

申请人地址：

日本新泻县

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L5156 C23C1404 C23C1424

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

邓宗庆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20191213
2020-06-23	公开	公开
2020-09-22	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/68 变更事项:发明人变更前:姬路敏明变更后:姬路俊明

共 50 条

[1]

蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法 [P].

三村拓平 .

中国专利 :CN111321375A ,2020-06-23

[2]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质 [P].

小林康信 .

中国专利 :CN113637948A ,2021-11-12

[3]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质 [P].

小林康信 .

日本专利 :CN113637948B ,2024-03-08

[4]

对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法 [P].

小林康信 .

中国专利 :CN110408886A ,2019-11-05

[5]

对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法 [P].

小林康信 .

日本专利 :CN110408886B ,2025-03-28

[6]

对准装置、成膜装置、对准方法及电子器件的制造方法 [P].

泷泽毅 ;

川畑奉代 ;

石井博 ;

佐藤和之 ;

吉津直人 ;

佐藤智之 ;

小林康信 .

日本专利 :CN119517821A ,2025-02-25

[7]

对准方法以及对准装置 [P].

江泽光晴 .

日本专利 :CN120958165A ,2025-11-14

[8]

对准方法以及对准装置 [P].

山根幸男 ;

石井博 ;

田中广树 .

中国专利 :CN105593396A ,2016-05-18

[9]

对准标记位置检测装置、蒸镀装置和电子器件的制造方法 [P].

谷和宪 ;

长沼义人 ;

内田亘 .

中国专利 :CN112962061A ,2021-06-15

[10]

输送载体、蒸镀装置以及电子器件的制造装置 [P].

小川滋之 ;

柴田匠 ;

塚本健太 ;

秋田和夫 .

中国专利 :CN111321374B ,2020-06-23

← 1 2 3 4 5 →