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一种晶圆定位装置及纳米压印设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122205516.8
申请日：
2021-09-13
公开(公告)号：
CN216084826U
公开(公告)日：
2022-03-18
发明(设计)人：
刘晓成
史晓华
申请人：
申请人地址：
330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区国家医药国际创新园联合研究院3#楼1楼
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2168
H01L21683
G03F700
代理机构：
苏州华博知识产权代理有限公司 32232
代理人：
杨敏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 授权 | 授权 |