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一种晶圆级纳米压印设备
被引：0
申请号：
CN202122748332.6
申请日：
2021-11-10
公开(公告)号：
CN216956666U
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
高振树
申请人：
申请人地址：
215101 江苏省苏州市高新区紫金路85号3号楼1楼
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
昆明合众智信知识产权事务所 53113
代理人：
刘静怡
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-12 | 授权 | 授权 |