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一种晶圆压印设备
被引：0
申请号：
CN202221112283.5
申请日：
2022-05-10
公开(公告)号：
CN218350709U
公开(公告)日：
2023-01-20
发明(设计)人：
任想想
范绅钺
文国昇
申请人：
申请人地址：
330096 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
何世磊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-20 | 授权 | 授权 |