磁控溅射蒸发双系统卷绕真空镀膜机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021929128.3
申请日
2020-09-07
公开(公告)号
CN213172559U
公开(公告)日
2021-05-11
发明(设计)人
林卫良
申请人
申请人地址
317500 浙江省台州市温岭市大溪镇高田村一级公路北侧
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
C23C1435 C23C1424 C23C1414 C23C1416
代理机构
杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213
代理人
吴秉中
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种磁控溅射蒸发双系统卷绕真空镀膜机及其镀膜工艺 [P]. 
林卫良 .
中国专利 :CN111962037A ,2020-11-20
[2]
真空镀膜机(磁控溅射) [P]. 
李飞 ;
杨占锋 ;
李桂洋 ;
潘士保 ;
张志聪 .
中国专利 :CN307706673S ,2022-12-02
[3]
柔性薄膜间隙卷绕磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
钱锋 ;
林晶 ;
孙守祥 ;
周珂 .
中国专利 :CN206872938U ,2018-01-12
[4]
磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
甘国工 .
中国专利 :CN200996042Y ,2007-12-26
[5]
磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
甘国工 .
中国专利 :CN100532633C ,2008-06-04
[6]
双面磁控溅射真空镀膜机及其真空镀膜方法 [P]. 
李金明 .
中国专利 :CN113502459A ,2021-10-15
[7]
磁控溅射真空镀膜机腔体 [P]. 
杜建飞 .
中国专利 :CN309125686S ,2025-02-18
[8]
磁控溅射真空镀膜机组 [P]. 
章新良 ;
彭为报 ;
崔介东 ;
龚瑞 .
中国专利 :CN201801582U ,2011-04-20
[9]
磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
王军生 .
中国专利 :CN207891420U ,2018-09-21
[10]
磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
周兴宝 ;
陈奕峰 ;
包振兴 ;
赵晶晶 ;
张玉 ;
钱靖宇 .
中国专利 :CN120905629A ,2025-11-07