柔性薄膜间隙卷绕磁控溅射真空镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720770554.9

申请日：

2017-06-28

公开(公告)号：

CN206872938U

公开(公告)日：

2018-01-12

发明(设计)人：

钱锋林晶孙守祥周珂

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区龙岗街道南联社区第六工业区第19栋一层西侧

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

高之波;王鹏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20170628 授权公告日:20180112 终止日期:20180628
2018-01-12	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜机（磁控溅射） [P].

李飞 ;

杨占锋 ;

李桂洋 ;

潘士保 ;

张志聪 .

中国专利 :CN307706673S ,2022-12-02

[2]

一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机 [P].

李建国 ;

尚心德 ;

张燕聪 .

中国专利 :CN208717431U ,2019-04-09

[3]

真空镀膜机磁控溅射靶装置 [P].

黄瑞安 .

中国专利 :CN201890921U ,2011-07-06

[4]

磁控溅射蒸发双系统卷绕真空镀膜机 [P].

林卫良 .

中国专利 :CN213172559U ,2021-05-11

[5]

磁控溅射真空镀膜机腔体 [P].

杜建飞 .

中国专利 :CN309125686S ,2025-02-18

[6]

柔性基材磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

谈琦 .

中国专利 :CN204385288U ,2015-06-10

[7]

磁控溅射真空镀膜机组 [P].

章新良 ;

彭为报 ;

崔介东 ;

龚瑞 .

中国专利 :CN201801582U ,2011-04-20

[8]

卷绕式磁控溅射柔性镀膜机 [P].

周兴宝 .

中国专利 :CN208577778U ,2019-03-05

[9]

一种柔性材料磁控溅射真空镀膜机 [P].

吕聪 .

中国专利 :CN119640225A ,2025-03-18

[10]

磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

甘国工 .

中国专利 :CN200996042Y ,2007-12-26

← 1 2 3 4 5 →