一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机

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专利类型
实用新型
申请号
CN201821483940.0
申请日
2018-09-11
公开(公告)号
CN208717431U
公开(公告)日
2019-04-09
发明(设计)人
李建国 尚心德 张燕聪
申请人
申请人地址
366000 福建省三明市永安市贡川镇水东园区28号
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
C23C1435
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
真空镀膜机(磁控溅射) [P]. 
李飞 ;
杨占锋 ;
李桂洋 ;
潘士保 ;
张志聪 .
中国专利 :CN307706673S ,2022-12-02
[2]
柔性薄膜间隙卷绕磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
钱锋 ;
林晶 ;
孙守祥 ;
周珂 .
中国专利 :CN206872938U ,2018-01-12
[3]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
谢学东 ;
谢辉东 .
中国专利 :CN214327869U ,2021-10-01
[4]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
宋泳东 .
中国专利 :CN210916237U ,2020-07-03
[5]
真空镀膜机磁控溅射靶装置 [P]. 
黄瑞安 .
中国专利 :CN201890921U ,2011-07-06
[6]
磁控溅射真空镀膜机腔体 [P]. 
杜建飞 .
中国专利 :CN309125686S ,2025-02-18
[7]
一种新型磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
王涛 ;
李娜 ;
盛永利 ;
郑立冬 ;
张奇 .
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[8]
一种表面磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
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胡枭 ;
巴威 .
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[9]
一种高效磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
不公告发明人 .
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[10]
磁控溅射真空镀膜机组 [P]. 
章新良 ;
彭为报 ;
崔介东 ;
龚瑞 .
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