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一种磁控溅射蒸发双系统卷绕真空镀膜机及其镀膜工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010927773.X
申请日：
2020-09-07
公开(公告)号：
CN111962037A
公开(公告)日：
2020-11-20
发明(设计)人：
林卫良
申请人：
申请人地址：
317500 浙江省台州市温岭市大溪镇高田村一级公路北侧
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1424
C23C1414
C23C1456
代理机构：
杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213
代理人：
吴秉中
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200907 |
| 2020-11-20 | 公开 | 公开 |