一种用于半导体内六方块加工工装的固定结构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921145830.8
申请日
2019-07-22
公开(公告)号
CN210189154U
公开(公告)日
2020-03-27
发明(设计)人
刘明华 邹学彬
申请人
申请人地址
610100 四川省成都市龙泉驿区星光中路灵池街6号
IPC主分类号
B23Q308
IPC分类号
代理机构
成都欣圣知识产权代理有限公司 51292
代理人
王海文
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种应用于半导体加工装置的电极固定结构 [P]. 
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杨正平 .
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[2]
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张海娟 ;
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[3]
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尼博爱 .
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[4]
一种半导体固定结构 [P]. 
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单庆喜 ;
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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陈泳宇 .
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