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一种多晶硅片用夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821088529.3
申请日：
2018-07-10
公开(公告)号：
CN208460732U
公开(公告)日：
2019-02-01
发明(设计)人：
李中天
申请人：
申请人地址：
215100 江苏省苏州市吴中区甪直镇长虹北路169号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L3118
代理机构：
苏州诚逸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32313
代理人：
周亚婷
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-02-01 | 授权 | 授权 |