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一种多晶硅片用夹具
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111234325.2
申请日：
2021-10-22
公开(公告)号：
CN114038768A
公开(公告)日：
2022-02-11
发明(设计)人：
潘蒙
申请人：
申请人地址：
221600 江苏省徐州市沛县经济开发区韩信路北侧
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
北京喆翙知识产权代理有限公司 11616
代理人：
李娜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211022 |
| 2022-06-14 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20220211 |