等离子体约束装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120470227.4

申请日：

2011-11-23

公开(公告)号：

CN202423213U

公开(公告)日：

2012-09-05

发明(设计)人：

彭帆吴狄周宁邱达燕

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

张静洁;徐雯琼

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20111123 授权公告日:20120905
2019-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2015-04-22	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712122893 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL2011204702274 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司实用新型名称:等离子体约束装置申请日:20111123 授权公告日:20120905
2012-09-05	授权	授权
2017-09-05	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758727433 IPC(主分类):H01J 37/32 授权公告日:20120905 申请日:20111123 专利号:ZL2011204702274 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司解除日:20170809

共 50 条

[1]

等离子体约束装置及利用该等离子体约束装置的等离子体处理装置 [P].

陈金元 ;

周宁 ;

欧阳亮 ;

吴狄 ;

徐朝阳 ;

杜志游 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN201514924U ,2010-06-23

[2]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

傅时梁 ;

杨金全 ;

王枫 .

中国专利 :CN212461598U ,2021-02-02

[3]

等离子体约束装置 [P].

倪图强 ;

陈金元 ;

钱青 ;

付越虹 ;

徐朝阳 ;

周旭升 ;

王晔 .

中国专利 :CN101150909A ,2008-03-26

[4]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101419904B ,2009-04-29

[5]

等离子体约束装置及具有其的等离子体处理装置 [P].

田凌 ;

段文睿 ;

韩文彬 ;

冯涓 ;

黄利平 .

中国专利 :CN103811263B ,2014-05-21

[6]

等离子体约束环、约束组件及等离子体处理装置 [P].

范光伟 ;

叶如彬 ;

杨宽 ;

周艳 .

中国专利 :CN221102005U ,2024-06-07

[7]

一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置 [P].

宋靖鹏 ;

王智昊 .

中国专利 :CN117936345A ,2024-04-26

[8]

一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置 [P].

朱永成 ;

王智昊 .

中国专利 :CN119694870A ,2025-03-25

[9]

等离子约束装置及等离子体设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN212411997U ,2021-01-26

[10]

等离子体约束装置和等离子体加工设备 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101383278B ,2009-03-11

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