等离子体约束装置及具有其的等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410065214.7

申请日：

2014-02-25

公开(公告)号：

CN103811263B

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

田凌段文睿韩文彬冯涓黄利平

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

张大威

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	授权	授权
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583077302 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014100652147 申请日:20140225
2015-05-20	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715619485 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014100652147 变更事项:发明人变更前:田凌;段文睿;韩文彬;冯娟;黄利平变更后:田凌;段文睿;韩文彬;冯涓;黄利平
2014-05-21	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101419904B ,2009-04-29

[2]

等离子体约束装置及利用该等离子体约束装置的等离子体处理装置 [P].

陈金元 ;

周宁 ;

欧阳亮 ;

吴狄 ;

徐朝阳 ;

杜志游 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN201514924U ,2010-06-23

[3]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

傅时梁 ;

杨金全 ;

王枫 .

中国专利 :CN212461598U ,2021-02-02

[4]

等离子体约束装置 [P].

彭帆 ;

吴狄 ;

周宁 ;

邱达燕 .

中国专利 :CN202423213U ,2012-09-05

[5]

等离子体约束装置 [P].

倪图强 ;

陈金元 ;

钱青 ;

付越虹 ;

徐朝阳 ;

周旭升 ;

王晔 .

中国专利 :CN101150909A ,2008-03-26

[6]

一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置 [P].

宋靖鹏 ;

王智昊 .

中国专利 :CN117936345A ,2024-04-26

[7]

一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置 [P].

朱永成 ;

王智昊 .

中国专利 :CN119694870A ,2025-03-25

[8]

等离子体约束组件及等离子体处理装置 [P].

范光伟 ;

叶如彬 ;

杨宽 ;

周艳 .

中国专利 :CN119811971A ,2025-04-11

[9]

等离子体约束环、约束组件及等离子体处理装置 [P].

范光伟 ;

叶如彬 ;

杨宽 ;

周艳 .

中国专利 :CN221102005U ,2024-06-07

[10]

等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

森口尚树 .

中国专利 :CN105103274A ,2015-11-25

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