等离子体约束装置和等离子体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810224814.8

申请日：

2008-10-22

公开(公告)号：

CN101383278B

公开(公告)日：

2009-03-11

发明(设计)人：

南建辉宋巧丽

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

逯长明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-25	授权	授权
2009-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-08-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2009-03-11	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101419904B ,2009-04-29

[2]

等离子体约束装置 [P].

彭帆 ;

吴狄 ;

周宁 ;

邱达燕 .

中国专利 :CN202423213U ,2012-09-05

[3]

等离子体约束装置 [P].

倪图强 ;

陈金元 ;

钱青 ;

付越虹 ;

徐朝阳 ;

周旭升 ;

王晔 .

中国专利 :CN101150909A ,2008-03-26

[4]

等离子体约束装置及利用该等离子体约束装置的等离子体处理装置 [P].

陈金元 ;

周宁 ;

欧阳亮 ;

吴狄 ;

徐朝阳 ;

杜志游 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN201514924U ,2010-06-23

[5]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

傅时梁 ;

杨金全 ;

王枫 .

中国专利 :CN212461598U ,2021-02-02

[6]

利用等离子体约束装置的等离子体蚀刻装置 [P].

E·H·伦茨 ;

R·D·迪布尔 .

中国专利 :CN1148105A ,1997-04-23

[7]

利用等离子体约束装置的等离子体蚀刻装置 [P].

E·H·伦茨 ;

R·D·迪布尔 .

中国专利 :CN1405857A ,2003-03-26

[8]

等离子约束装置及等离子体设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN212411997U ,2021-01-26

[9]

等离子约束装置及等离子体设备 [P].

吴堃 .

中国专利 :CN111446146A ,2020-07-24

[10]

等离子约束装置及等离子体设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN111653468A ,2020-09-11

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