等离子约束装置及等离子体设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010607931.3

申请日：

2020-06-30

公开(公告)号：

CN111653468A

公开(公告)日：

2020-09-11

发明(设计)人：

吴堃杨猛

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区卫昌路293号2幢12638室

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-11	公开	公开
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200630
2022-01-21	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:申请人变更前:上海邦芯半导体设备有限公司变更后:上海邦芯半导体科技有限公司变更事项:地址变更前:201500 上海市金山区卫昌路293号2幢12638室变更后:201500 上海市金山区卫昌路293号2幢12638室

共 50 条

[1]

等离子约束装置及等离子体设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN212411997U ,2021-01-26

[2]

等离子约束装置及等离子体设备 [P].

吴堃 .

中国专利 :CN111446146A ,2020-07-24

[3]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

傅时梁 ;

杨金全 ;

王枫 .

中国专利 :CN212461598U ,2021-02-02

[4]

等离子体约束装置 [P].

倪图强 ;

陈金元 ;

钱青 ;

付越虹 ;

徐朝阳 ;

周旭升 ;

王晔 .

中国专利 :CN101150909A ,2008-03-26

[5]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101419904B ,2009-04-29

[6]

等离子体约束装置及利用该等离子体约束装置的等离子体处理装置 [P].

陈金元 ;

周宁 ;

欧阳亮 ;

吴狄 ;

徐朝阳 ;

杜志游 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN201514924U ,2010-06-23

[7]

等离子体约束装置和等离子体加工设备 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101383278B ,2009-03-11

[8]

等离子体约束装置 [P].

彭帆 ;

吴狄 ;

周宁 ;

邱达燕 .

中国专利 :CN202423213U ,2012-09-05

[9]

利用等离子体约束装置的等离子体蚀刻装置 [P].

E·H·伦茨 ;

R·D·迪布尔 .

中国专利 :CN1148105A ,1997-04-23

[10]

利用等离子体约束装置的等离子体蚀刻装置 [P].

E·H·伦茨 ;

R·D·迪布尔 .

中国专利 :CN1405857A ,2003-03-26

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