准分子激光器剂量稳定控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920428832.1

申请日：

2019-03-29

公开(公告)号：

CN209860345U

公开(公告)日：

2019-12-27

发明(设计)人：

冯泽斌韩晓泉江锐周翊赵江山张华张琴王香廖密杨军红

申请人：

申请人地址：

100000 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201

IPC主分类号：

H01S313

IPC分类号：

H01S3134

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

曹卫良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-27	授权	授权

共 50 条

[1]

准分子激光器剂量稳定控制系统及控制方法 [P].

冯泽斌 ;

韩晓泉 ;

江锐 ;

周翊 ;

赵江山 ;

张华 ;

张琴 ;

王香 ;

廖密 ;

杨军红 .

中国专利 :CN109950786B ,2024-04-19

[2]

准分子激光器剂量稳定控制系统及控制方法 [P].

冯泽斌 ;

韩晓泉 ;

江锐 ;

周翊 ;

赵江山 ;

张华 ;

张琴 ;

王香 ;

廖密 ;

杨军红 .

中国专利 :CN109950786A ,2019-06-28

[3]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444A ,2022-08-05

[4]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444B ,2025-10-24

[5]

光刻用准分子激光器剂量稳定控制方法 [P].

王效顺 ;

方晓东 ;

梁勖 ;

鲍健 .

中国专利 :CN103094830A ,2013-05-08

[6]

一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器 [P].

韩晓泉 ;

孙泽旭 ;

冯泽斌 ;

刘广义 ;

王倩 ;

周翊 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN112490839B ,2021-03-12

[7]

基于ModBus的准分子激光器控制系统 [P].

李谚 ;

武文博 .

中国专利 :CN119070117A ,2024-12-03

[8]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[9]

激光光斑宽度控制系统及准分子激光器 [P].

常庆麒 ;

魏晓马 ;

李梦龙 ;

孔令浩 ;

张艳茹 ;

苏国兵 .

中国专利 :CN217427321U ,2022-09-13

[10]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN209169622U ,2019-07-26

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